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HF，B，P，Al2O3生成黑色物质
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我们是做硅片扩散的，利用硼纸扩散完需用HF将晶片分离，在用HF泡片过程中，生成一种黑色物质附着在晶片表面，薄薄的一层但难以去除，且泡片时间越长，黑色物质越多 分析泡片溶液中的离子成分，有HF，B，P，Al2O3, SiO2, Si 等 有没有哪位大神了解，这几种物质是否能反应生成某一种黑色物质，万分感谢！ |
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