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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料化学 » 小白跪求解答，制备AlN，XRD测不出峰值？
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wawa3587

新虫 (初入文坛)

[求助] 小白跪求解答，制备AlN，XRD测不出峰值？

求助求助，利用CVD法在si片制备AlN，Al源用的无水AlCl3粉末，N源采用氨气，调整温度时间气流量等参数，反应后片子上有点非常薄白色的一层，但是XRD 测不出任何峰值，也测试了反应后粉末未有结构，考虑过是没有反应，或者生成NH4Cl，但是粉末也没分析出产物，实在不知道求大神分析原因，不胜感激
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1楼 2017-10-31 09:34:13
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强哥哥哥

新虫 (著名写手)
没有成膜，或者xrd检测方式不对，用小角度掠射法试试

发自小木虫Android客户端
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4楼2017-10-31 10:22:11
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匿名

用户注销 (正式写手)
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2楼2017-10-31 09:46:59
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wawa3587

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by mybeike at 2017-10-31 09:46:59
图谱发我一下看看，我也是做氮化铝的，用的方法不一样

一个是反应后粉末，有两个高峰，估计是粉末放置容器的，
另一个是反应后片子，jade查不出aln的峰值
小白跪求解答，制备AlN，XRD测不出峰值？
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小白跪求解答，制备AlN，XRD测不出峰值？-1
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3楼2017-10-31 10:00:54
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匿名

用户注销 (正式写手)
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5楼2017-10-31 12:57:42
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