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wawa3587

新虫 (初入文坛)

[求助] 小白跪求解答,制备AlN,XRD测不出峰值?

求助求助,利用CVD法在si片制备AlN,Al源用的无水AlCl3粉末,N源采用氨气,调整温度时间气流量等参数,反应后片子上有点非常薄白色的一层,但是XRD 测不出任何峰值,也测试了反应后粉末未有结构,考虑过是没有反应,或者生成NH4Cl,但是粉末也没分析出产物,实在不知道求大神分析原因,不胜感激
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匿名

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2楼2017-10-31 09:46:59
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wawa3587

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by mybeike at 2017-10-31 09:46:59
图谱发我一下看看,我也是做氮化铝的,用的方法不一样

一个是反应后粉末,有两个高峰,估计是粉末放置容器的,
另一个是反应后片子,jade查不出aln的峰值
小白跪求解答,制备AlN,XRD测不出峰值?
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小白跪求解答,制备AlN,XRD测不出峰值?-1
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3楼2017-10-31 10:00:54
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强哥哥哥

新虫 (著名写手)

没有成膜,或者xrd检测方式不对,用小角度掠射法试试

发自小木虫Android客户端
4楼2017-10-31 10:22:11
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匿名

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5楼2017-10-31 12:57:42
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