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小白跪求解答,制备AlN,XRD测不出峰值?
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求助求助,利用CVD法在si片制备AlN,Al源用的无水AlCl3粉末,N源采用氨气,调整温度时间气流量等参数,反应后片子上有点非常薄白色的一层,但是XRD 测不出任何峰值,也测试了反应后粉末未有结构,考虑过是没有反应,或者生成NH4Cl,但是粉末也没分析出产物,实在不知道求大神分析原因,不胜感激 |
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