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conpepapro

新虫 (小有名气)

[交流] 磁控溅射生长NiO测不出XRD 已有5人参与

射频生长的NiO靶,没有通入氧气,长了30nm的厚度,始终测不出峰,带温生长也一样不行。

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ck495

金虫 (小有名气)

★
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通氧试试?现在是什么结果?

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2楼2017-09-24 00:12:23
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小小牧羊子

铁杆木虫 (职业作家)

小木虫

★
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厚度太薄,沉积时间长点试一下,或者用掠入射XRD!祝好!

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天行健,君子以自?姴幌ⅲ坏貏堇ぃ右院竦螺d物!慎思、篤行、博學、緻新!?蹏⒎瞰I、敬業、自?姡〔幌⑽澹招挛溃�
3楼2017-09-24 00:34:48
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leaves922

木虫 (正式写手)

★
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太薄了,直接同步辐射试试吧

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4楼2017-09-24 06:36:56
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fsfsfs123

金虫 (正式写手)

热爱科学

★
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太薄了,而且磁控溅射不加温,容易生长多晶膜,XRD强度肯定弱。建议膜镀厚或者用高灵敏度的测试仪器,XPS试试

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5楼2017-09-24 08:32:16
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野人禾禾

金虫 (正式写手)

★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
至少也要200nm以上吧,以前我们测XRD都要500nm以上的
擅长薄膜材料工艺,欢迎交流captain0119
6楼2017-11-21 16:30:39
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