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dashan_612

木虫 (正式写手)

[交流] 有做ZnO薄膜的虫虫么？

利用ZnO薄膜做SAW，和气敏探测元件，具体的怎么做，查了很多文献都不是很具体，
1、材料清洗：丙酮（去油污），乙醇，去离子水依次清洗；
2、插指电极光刻：涂胶－前烘－曝光－显影－坚膜－Plasma去底膜－表面
处理；
3、电子束蒸发Al；
4、LIFTOFF工艺；
5、剥离（丙酮+超声）。
有做过的么，能具体告诉一下么？主要是插指电极的做法。谢谢
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1楼 2009-02-13 21:05:19
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gdfollow

至尊木虫 (著名写手)

东方洛克博
我去年做了三个月光探测器，插指效果挺好的。但不知你具体问什么？
感觉工艺过程你说的也没什么毛病啊。
具体到作，甩胶-前烘的时间要摸好。保证光刻的时候能够刻透。个人觉得甩胶时应尽量把胶帅的薄一点。光刻时间也要摸好。
看你的说法你用的是反胶吧？
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破马长枪立乾坤
6楼2009-02-22 18:56:03
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dingyw

铁杆木虫 (著名写手)
★ ★ ★
dashan_612(金币+3,VIP+0): 2-15 09:11
一般是在压电晶体表面上溅射ZNO，然后制作SAW IDT，但是ZNO有晶向要求。
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3楼2009-02-14 10:20:11
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dingyw

铁杆木虫 (著名写手)
★ ★ ★
dashan_612(金币+3,VIP+0): 2-15 09:11
这种器件做气敏元件，一般场合是容忍不了它的响应和恢复时间，所以不太理想。
赞一下(2人) 回复此楼
4楼2009-02-14 10:24:48
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120101405

铁杆木虫 (正式写手)
我有具体资料
怎么传给你？
给我邮箱吧？
赞一下 回复此楼
谦逊求教才能更进一步
5楼2009-02-22 17:16:18
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