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dashan_612木虫 (正式写手)
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[交流]
有做ZnO薄膜的虫虫么？
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利用ZnO薄膜做SAW，和气敏探测元件，具体的怎么做，查了很多文献都不是很具体， 1、材料清洗：丙酮（去油污），乙醇，去离子水依次清洗； 2、插指电极光刻：涂胶－前烘－曝光－显影－坚膜－Plasma去底膜－表面 处理； 3、电子束蒸发Al； 4、LIFTOFF工艺； 5、剥离（丙酮+超声）。 有做过的么，能具体告诉一下么？主要是插指电极的做法。谢谢 |
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