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dashan_612

木虫 (正式写手)

[交流] 有做ZnO薄膜的虫虫么?

利用ZnO薄膜做SAW,和气敏探测元件,具体的怎么做,查了很多文献都不是很具体,
1、材料清洗:丙酮(去油污),乙醇,去离子水依次清洗;
2、插指电极光刻:涂胶-前烘-曝光-显影-坚膜-Plasma去底膜-表面
处理;
3、电子束蒸发Al;
4、LIFTOFF工艺;
5、剥离(丙酮+超声)。
有做过的么,能具体告诉一下么?主要是插指电极的做法。谢谢
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songxuemin

木虫 (著名写手)

^_^
2楼2009-02-13 21:49:11
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dingyw

铁杆木虫 (著名写手)

★ ★ ★
dashan_612(金币+3,VIP+0): 2-15 09:11
一般是在压电晶体表面上溅射ZNO,然后制作SAW IDT,但是ZNO有晶向要求。
3楼2009-02-14 10:20:11
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dingyw

铁杆木虫 (著名写手)

★ ★ ★
dashan_612(金币+3,VIP+0): 2-15 09:11
这种器件做气敏元件,一般场合是容忍不了它的响应和恢复时间,所以不太理想。
4楼2009-02-14 10:24:48
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120101405

铁杆木虫 (正式写手)

我有具体资料
怎么传给你?
给我邮箱吧?
谦逊求教才能更进一步
5楼2009-02-22 17:16:18
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gdfollow

至尊木虫 (著名写手)

东方洛克博

我去年做了三个月光探测器,插指效果挺好的。但不知你具体问什么?
感觉工艺过程你说的也没什么毛病啊。
具体到作,甩胶-前烘的时间要摸好。保证光刻的时候能够刻透。个人觉得甩胶时应尽量把胶帅的薄一点。光刻时间也要摸好。
看你的说法你用的是反胶吧?
破马长枪立乾坤
6楼2009-02-22 18:56:03
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