| 查看: 351 | 回复: 5 | |||
| 当前主题已经存档。 | |||
dashan_612木虫 (正式写手)
|
[交流]
有做ZnO薄膜的虫虫么？
|
||
|
利用ZnO薄膜做SAW，和气敏探测元件，具体的怎么做，查了很多文献都不是很具体， 1、材料清洗：丙酮（去油污），乙醇，去离子水依次清洗； 2、插指电极光刻：涂胶－前烘－曝光－显影－坚膜－Plasma去底膜－表面 处理； 3、电子束蒸发Al； 4、LIFTOFF工艺； 5、剥离（丙酮+超声）。 有做过的么，能具体告诉一下么？主要是插指电极的做法。谢谢 |
回复此楼» 猜你喜欢
本人女孩
已经有9人回复
-
085501机械专硕 302分 不挑专业求调剂
已经有7人回复
-
一志愿厦大0856，306求调剂
已经有5人回复
-
366求调剂
已经有3人回复
-
一志愿新疆大学085401，314分
已经有3人回复
-
271求调剂
已经有14人回复
-
305求调剂
已经有4人回复
-
211本科材料化工求调剂
已经有7人回复
-
332求调剂
已经有13人回复
-
295求调剂
已经有4人回复
songxuemin
木虫 (著名写手)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 1826.9
- 帖子: 1355
- 在线: 2.1小时
- 虫号: 666523
- 注册: 2008-12-02
- 性别: GG
- 专业: 水泥与耐火材料
2楼2009-02-13 21:49:11
dingyw
铁杆木虫 (著名写手)
- 应助: 1 (幼儿园)
- 金币: 5812.8
- 帖子: 1296
- 在线: 114.7小时
- 虫号: 672252
- 注册: 2008-12-11
- 专业: 敏感电子学与传感器
3楼2009-02-14 10:20:11
dingyw
铁杆木虫 (著名写手)
- 应助: 1 (幼儿园)
- 金币: 5812.8
- 帖子: 1296
- 在线: 114.7小时
- 虫号: 672252
- 注册: 2008-12-11
- 专业: 敏感电子学与传感器
4楼2009-02-14 10:24:48
120101405
铁杆木虫 (正式写手)
- 博学EPI: 1
- 应助: 2 (幼儿园)
- 金币: 5339.5
- 红花: 2
- 帖子: 619
- 在线: 60.7小时
- 虫号: 632774
- 注册: 2008-10-21
- 专业: 环境工程
5楼2009-02-22 17:16:18
gdfollow
至尊木虫 (著名写手)
东方洛克博
- 应助: 26 (小学生)
- 金币: 21184.6
- 散金: 134
- 红花: 8
- 帖子: 2086
- 在线: 342.1小时
- 虫号: 630837
- 注册: 2008-10-19
- 性别: GG
- 专业: 光子与光电子器件
6楼2009-02-22 18:56:03
