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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 金属 » 表面处理 » N2,H2,TiCl4为原料，在316不锈钢上沉积TiN涂层用手一碰就掉？求指导啊！
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桥上人

金虫 (正式写手)

[求助] N2,H2,TiCl4为原料，在316不锈钢上沉积TiN涂层用手一碰就掉？求指导啊！ 已有2人参与

如题，想在316的不锈钢在上面沉积TiN涂层，用H2,N2,TiCl4为气体，在950℃沉积的涂层为什么用手一碰就掉，我按照文献上的参数，H2为360ml/min,N2为160ml/min，为啥一碰就掉，而且不是涂层，就是在基体上长了一层粉，求助啊。

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1楼 2017-09-07 12:49:52
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桥上人

金虫 (正式写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by dickliu7 at 2017-09-07 14:44:59
You should use aluminium acetylacetonate (Al(acac)3) as a precursor.

我想用最传统的方法镀上TiN
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6楼2017-09-08 11:58:43
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
桥上人: 金币+5, ★★★很有帮助 2017-09-08 11:56:25
估计是高温气相还原和合成出来的氮化钛颗粒对316不锈钢表面不润湿所造成的结果。
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2楼2017-09-07 14:25:15
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dickliu7

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
You should use aluminium acetylacetonate (Al(acac)3) as a precursor.
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3楼2017-09-07 14:44:59
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埃尔米特

新虫 (正式写手)
看文献数据是做不出实验的，具体参数要自己摸索

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4楼2017-09-07 22:38:06
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