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桥上人

金虫 (正式写手)

[求助] N2,H2,TiCl4为原料,在316不锈钢上沉积TiN涂层用手一碰就掉?求指导啊! 已有2人参与

如题,想在316的不锈钢在上面沉积TiN涂层,用H2,N2,TiCl4为气体,在950℃沉积的涂层为什么用手一碰就掉,我按照文献上的参数,H2为360ml/min,N2为160ml/min,为啥一碰就掉,而且不是涂层,就是在基体上长了一层粉,求助啊。

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dickliu7

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
You should use aluminium acetylacetonate (Al(acac)3) as a precursor.
3楼2017-09-07 14:44:59
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer


【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
桥上人: 金币+5, ★★★很有帮助 2017-09-08 11:56:25
估计是高温气相还原和合成出来的氮化钛颗粒对316不锈钢表面不润湿所造成的结果。
2楼2017-09-07 14:25:15
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埃尔米特

新虫 (正式写手)

看文献数据是做不出实验的,具体参数要自己摸索

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4楼2017-09-07 22:38:06
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桥上人

金虫 (正式写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by peterflyer at 2017-09-07 14:25:15
估计是高温气相还原和合成出来的氮化钛颗粒对316不锈钢表面不润湿所造成的结果。

嗯 有可能 但差别应该不会太大  我再试试其他参数
5楼2017-09-08 11:57:03
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