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N2,H2,TiCl4为原料，在316不锈钢上沉积TiN涂层用手一碰就掉？求指导啊！ 已有2人参与
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如题，想在316的不锈钢在上面沉积TiN涂层，用H2,N2,TiCl4为气体，在950℃沉积的涂层为什么用手一碰就掉，我按照文献上的参数，H2为360ml/min,N2为160ml/min，为啥一碰就掉，而且不是涂层，就是在基体上长了一层粉，求助啊。 发自小木虫Android客户端 |
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