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XPS测试细节
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minizhuangge
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XPS测试细节
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我检测的XPS样品,在总谱里面有S的峰在单独扫描的S元素中没有峰,这是因为什么
XPS测试是打点吗。总谱也是打点吗,还是类似于SEM的点扫面扫一样啊
求知情人告解
总谱
S 2p
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2017-09-04 10:52:03
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zhaoguixuan
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2017-09-04 11:03:59
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没做过,你样品里有吗?其二你这物质在表面吗?可能对样品有消耗或……
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2017-09-04 12:08:31
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lqm070
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专业: 半导体光电子器件
有些甚至需要氩离子剥离后做……
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2017-09-04 12:11:19
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专业: 极端条件下使用的金属材料
是不是刻蚀时间不一样?
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5楼
2017-09-04 15:06:55
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dingdangyu
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我看你的全扫里并没有S啊 全扫看起来像噪音 应该以高分辨为准 另外高分辨给你采集的几次?
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6楼
2017-09-06 08:41:39
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看到了 S高分辨只采集了三次 这个次数太少 应该尝试多采集几次再看看有没有S
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minizhuangge
7楼
2017-09-06 08:42:21
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Originally posted by
zhaoguixuan
at 2017-09-04 11:03:59
XPS是测一小区域的,我们实验室设备的测试区域大概是500um左右
好的,谢谢
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8楼
2017-09-07 09:20:56
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lqm070
at 2017-09-04 12:08:31
没做过,你样品里有吗?其二你这物质在表面吗?可能对样品有消耗或……
样品里面有,我在做XPS之前用平行样做的SEM打的能谱,其中有S元素的存在,但是分布不均匀,有的地方有有的地方没有
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9楼
2017-09-07 09:21:52
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Originally posted by
lqm070
at 2017-09-04 12:11:19
有些甚至需要氩离子剥离后做……
哦哦,还需要用氩离子剥离
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10楼
2017-09-07 09:22:33
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