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gyq2006木虫 (著名写手)
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[交流]
铁电薄膜XRD中底电极铂峰位置变化原因
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各位虫友，请问我在做铁电薄膜XRD中，发现底电极铂峰位置局部放大后随退火温度的增加而移向高角度方向，这是什么原因，请帮忙分析一下。 我个人觉得退火温度只会影响铁电薄膜峰的位置，这应该对底电极（Pt/Ti/SiO2/Si)的衍射峰不会有影响，可事实上，移动了2度左右，请指教，多谢！ [ Last edited by gyq2006 on 2009-2-9 at 15:46 ] |
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