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磁控溅射电压 已有3人参与
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各位达人，请教个问题，在我溅射功率一定的情况下，哪些因素可以改变电压，比如气体比例，靶基距等，还有功率一定，电压大小对沉积速率的影响？谢谢 发自小木虫Android客户端 |
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小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
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2楼2017-08-06 09:08:59
3楼2017-08-06 18:03:34
4楼2017-08-06 19:08:16
送红花一朵 |
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5楼2017-08-10 10:18:59
kkuklx
新虫 (初入文坛)
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- 虫号: 1149122
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- 专业: 制造系统与自动化
6楼2017-09-30 11:00:18