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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 磁控溅射电压
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fhqmtv239

木虫 (小有名气)

[交流] 磁控溅射电压 已有3人参与

各位达人，请教个问题，在我溅射功率一定的情况下，哪些因素可以改变电压，比如气体比例，靶基距等，还有功率一定，电压大小对沉积速率的影响？谢谢

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1楼 2017-08-06 08:34:09
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091820053

禁虫 (知名作家)
送红花一朵
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5楼2017-08-10 10:18:59
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091820053

禁虫 (知名作家)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
本帖内容被屏蔽
2楼2017-08-06 09:08:59
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博锐源

新虫 (初入文坛)
压强的大小，改变。

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3楼2017-08-06 18:03:34
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fhqmtv239

木虫 (小有名气)
沉积功率一定的条件下，沉积电压大，电流小，沉积速率是快还是慢？

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091820053
4楼2017-08-06 19:08:16
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