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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 光学材料 » TiN薄膜用磁控溅射怎么镀不上？
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霸天一梦

新虫 (初入文坛)

[求助] TiN薄膜用磁控溅射怎么镀不上？ 已有2人参与

反应溅射压强1.0pa.镀不上，不知道怎么回事？更小的话没法减了。还有Ar2和N2气比例到底多少合适，求助各位大神们！！？

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1楼 2017-08-04 19:54:38
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091820053

禁虫 (知名作家)
感谢参与，应助指数 +1
本帖内容被屏蔽
2楼2017-08-04 19:57:01
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
是根本起不了弧还是薄膜附着性差？若是前者估计得调整靶材与基板的间距了；若是后者的话，估计一是真空度太低了，有文献称要先将真空抽到10^(-5)Pa，然后再通高纯氩和氮气，另外可能还需要处理一下基板，强化氮化钛颗粒对基板的附着能力。
对于Ar2和N2气比例到底多少合适，可以参考下面的文献：http://www.docin.com/p-1237547996.html 。
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霸天一梦
3楼2017-08-04 21:33:33
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霸天一梦

新虫 (初入文坛)
送红花一朵
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3楼: Originally posted by peterflyer at 2017-08-04 21:33:33
是根本起不了弧还是薄膜附着性差？若是前者估计得调整靶材与基板的间距了；若是后者的话，估计一是真空度太低了，有文献称要先将真空抽到10^(-5)Pa，然后再通高纯氩和氮气，另外可能还需要处理一下基板，强化氮化钛 ...

文献对应没有文章怎么回事，反应溅射的压强我看文献里有成功的，但是实验复述不出来，功率按文献功率200到250w.是不是功率低，镀其他膜的时候也没有这么难镀，就这个膜难住了，始终镀不上，很无奈，望大神帮忙解决下！非常感谢！！

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4楼2017-08-04 23:16:32
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霸天一梦

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
4楼: Originally posted by 霸天一梦 at 2017-08-04 23:16:32
文献对应没有文章怎么回事，反应溅射的压强我看文献里有成功的，但是实验复述不出来，功率按文献功率200到250w.是不是功率低，镀其他膜的时候也没有这么难镀，就这个膜难住了，始终镀不上，很无奈，望大神帮忙解决 ...

而且真空度已经达到要求的10(-5)

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5楼2017-08-04 23:17:39
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霸天一梦

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
5楼: Originally posted by 霸天一梦 at 2017-08-04 23:17:39
而且真空度已经达到要求的10(-5)
...

不是真空度，我好像抽到了5×10（-4）pa.真空度影响不是很大吧，你溅射的时候压强还要升啊！

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6楼2017-08-04 23:20:54
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer
引用回帖:
4楼: Originally posted by 霸天一梦 at 2017-08-04 23:16:32
文献对应没有文章怎么回事，反应溅射的压强我看文献里有成功的，但是实验复述不出来，功率按文献功率200到250w.是不是功率低，镀其他膜的时候也没有这么难镀，就这个膜难住了，始终镀不上，很无奈，望大神帮忙解决 ...

压强一般在0.1Pa到一两Pa之间，估计还需要降低溅射室的压力，比如到0.5Pa 左右。
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7楼2017-08-05 00:03:40
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霸天一梦

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
7楼: Originally posted by peterflyer at 2017-08-05 00:03:40
压强一般在0.1Pa到一两Pa之间，估计还需要降低溅射室的压力，比如到0.5Pa 左右。...

还有，我的氩气流量20sccm和30sccm是在同一压强下1.0pa是不是压强计也出问题了?在28到30sccm时会从1.0到1.1pa.大神，是不是压强计出问题了？

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8楼2017-08-05 07:20:56
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yanghuan5538

金虫 (小有名气)
引用回帖:
8楼: Originally posted by 霸天一梦 at 2017-08-05 07:20:56
还有，我的氩气流量20sccm和30sccm是在同一压强下1.0pa是不是压强计也出问题了?在28到30sccm时会从1.0到1.1pa.大神，是不是压强计出问题了？
...

压强计应该没问题，20到28压强没变，是因为新加的氩气被离化，对压强不会有什么影响，后续再加氩气，未被离化，压强自然上升了。

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9楼2017-08-06 14:44:39
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博锐源

新虫 (初入文坛)
压强有些大，如果电源与靶都没有没有问题的话，看看靶基距离是多少，多大的靶。我是真空设备制造商，有什么问题可以问我。

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10楼2017-08-06 18:02:03
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