| 查看: 1371 | 回复: 9 | ||
霸天一梦新虫 (初入文坛)
|
[求助]
TiN薄膜用磁控溅射怎么镀不上？ 已有2人参与
|
|
反应溅射压强1.0pa.镀不上，不知道怎么回事？更小的话没法减了。还有Ar2和N2气比例到底多少合适，求助各位大神们！！？ 发自小木虫Android客户端 |
回复此楼» 猜你喜欢
某些机构，以效率低为荣，以效率低作为存在感
已经有5人回复
-
什么时候开奖？
已经有12人回复
-
在坚冰还盖着北海的时候，我看到了怒放的梅花。
已经有3人回复
-
如果此刻你正在为国基感到焦虑，不妨来听听这首《基金之外》
已经有8人回复
-
没有任何消息-是不是就凉了
已经有10人回复
-
人气不行了
已经有11人回复
-
2026国自然函评费到账
已经有22人回复
-
导师吐槽：我怎么摊上了这么个极品研究生！
已经有3人回复
-
2026年的国家社科基金项目通讯评审的新规则与新动向、新挑战
已经有7人回复
-
今天基金会出结果吗？20260819
已经有18人回复
感谢参与，应助指数 +1
|
本帖内容被屏蔽 |
2楼2017-08-04 19:57:01
peterflyer 
木虫之王 (文学泰斗)
peterflyer
- 应助: 20282 (院士)
- 金币: 146693
- 红花: 1374
- 帖子: 93091
- 在线: 7695小时
- 虫号: 1482829
- 注册: 2011-11-08
- 性别: GG
- 专业: 功能陶瓷
【答案】应助回帖
感谢参与，应助指数 +1
|
是根本起不了弧还是薄膜附着性差？若是前者估计得调整靶材与基板的间距了；若是后者的话，估计一是真空度太低了，有文献称要先将真空抽到10^(-5)Pa，然后再通高纯氩和氮气，另外可能还需要处理一下基板，强化氮化钛颗粒对基板的附着能力。 对于Ar2和N2气比例到底多少合适，可以参考下面的文献：http://www.docin.com/p-1237547996.html 。 |
» 本帖已获得的红花（最新10朵）
3楼2017-08-04 21:33:33
霸天一梦
新虫 (初入文坛)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 50
- 散金: 30
- 帖子: 22
- 在线: 2.7小时
- 虫号: 6600746
- 注册: 2017-05-24
- 专业: 凝聚态物性 II ：电子结构
送红花一朵 |
文献对应没有文章怎么回事，反应溅射的压强我看文献里有成功的，但是实验复述不出来，功率按文献功率200到250w.是不是功率低，镀其他膜的时候也没有这么难镀，就这个膜难住了，始终镀不上，很无奈，望大神帮忙解决下！非常感谢！！ 发自小木虫Android客户端 |
4楼2017-08-04 23:16:32
霸天一梦
新虫 (初入文坛)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 50
- 散金: 30
- 帖子: 22
- 在线: 2.7小时
- 虫号: 6600746
- 注册: 2017-05-24
- 专业: 凝聚态物性 II ：电子结构
5楼2017-08-04 23:17:39
霸天一梦
新虫 (初入文坛)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 50
- 散金: 30
- 帖子: 22
- 在线: 2.7小时
- 虫号: 6600746
- 注册: 2017-05-24
- 专业: 凝聚态物性 II ：电子结构
6楼2017-08-04 23:20:54
peterflyer
木虫之王 (文学泰斗)
peterflyer
- 应助: 20282 (院士)
- 金币: 146693
- 红花: 1374
- 帖子: 93091
- 在线: 7695小时
- 虫号: 1482829
- 注册: 2011-11-08
- 性别: GG
- 专业: 功能陶瓷
7楼2017-08-05 00:03:40
霸天一梦
新虫 (初入文坛)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 50
- 散金: 30
- 帖子: 22
- 在线: 2.7小时
- 虫号: 6600746
- 注册: 2017-05-24
- 专业: 凝聚态物性 II ：电子结构
|
还有，我的氩气流量20sccm和30sccm是在同一压强下1.0pa是不是压强计也出问题了?在28到30sccm时会从1.0到1.1pa.大神，是不是压强计出问题了？ 发自小木虫Android客户端 |
8楼2017-08-05 07:20:56
yanghuan5538
金虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 5703.6
- 红花: 2
- 帖子: 160
- 在线: 161.9小时
- 虫号: 593081
- 注册: 2008-09-05
- 性别: GG
- 专业: 有机化工
9楼2017-08-06 14:44:39
10楼2017-08-06 18:02:03
