| 查看: 1021 | 回复: 9 | |||
霸天一梦新虫 (初入文坛)
|
[求助]
TiN薄膜用磁控溅射怎么镀不上？ 已有2人参与
|
|
反应溅射压强1.0pa.镀不上，不知道怎么回事？更小的话没法减了。还有Ar2和N2气比例到底多少合适，求助各位大神们！！？ 发自小木虫Android客户端 |
回复此楼» 猜你喜欢
求个博导看看
已经有16人回复
-
想换工作。大多数高校都是 评职称时 认可5年内在原单位取得的成果吗？
已经有8人回复
-
上海工程技术大学张培磊教授团队招收博士生
已经有4人回复
-
上海工程技术大学【激光智能制造】课题组招收硕士
已经有5人回复
-
求助院士们，这个如何合成呀
已经有4人回复
-
临港实验室与上科大联培博士招生1名
已经有9人回复
-
需要合成515-64-0，50g，能接单的留言
已经有4人回复
-
自荐读博
已经有4人回复
-
写了一篇“相变储能技术在冷库中应用”的论文，论文内容以实验为主，投什么期刊合适？
已经有6人回复
-
带资进组求博导收留
已经有10人回复
感谢参与，应助指数 +1
|
本帖内容被屏蔽 |
2楼2017-08-04 19:57:01
peterflyer 
木虫之王 (文学泰斗)
peterflyer
- 应助: 20282 (院士)
- 金币: 145866
- 红花: 1374
- 帖子: 93085
- 在线: 7693.9小时
- 虫号: 1482829
- 注册: 2011-11-08
- 性别: GG
- 专业: 功能陶瓷
【答案】应助回帖
感谢参与，应助指数 +1
|
是根本起不了弧还是薄膜附着性差？若是前者估计得调整靶材与基板的间距了；若是后者的话，估计一是真空度太低了，有文献称要先将真空抽到10^(-5)Pa，然后再通高纯氩和氮气，另外可能还需要处理一下基板，强化氮化钛颗粒对基板的附着能力。 对于Ar2和N2气比例到底多少合适，可以参考下面的文献：http://www.docin.com/p-1237547996.html 。 |
» 本帖已获得的红花（最新10朵）
3楼2017-08-04 21:33:33
霸天一梦
新虫 (初入文坛)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 50
- 散金: 30
- 帖子: 22
- 在线: 2.7小时
- 虫号: 6600746
- 注册: 2017-05-24
- 专业: 凝聚态物性 II ：电子结构
送红花一朵 |
文献对应没有文章怎么回事，反应溅射的压强我看文献里有成功的，但是实验复述不出来，功率按文献功率200到250w.是不是功率低，镀其他膜的时候也没有这么难镀，就这个膜难住了，始终镀不上，很无奈，望大神帮忙解决下！非常感谢！！ 发自小木虫Android客户端 |
4楼2017-08-04 23:16:32
霸天一梦
新虫 (初入文坛)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 50
- 散金: 30
- 帖子: 22
- 在线: 2.7小时
- 虫号: 6600746
- 注册: 2017-05-24
- 专业: 凝聚态物性 II ：电子结构
5楼2017-08-04 23:17:39
霸天一梦
新虫 (初入文坛)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 50
- 散金: 30
- 帖子: 22
- 在线: 2.7小时
- 虫号: 6600746
- 注册: 2017-05-24
- 专业: 凝聚态物性 II ：电子结构
6楼2017-08-04 23:20:54
peterflyer
木虫之王 (文学泰斗)
peterflyer
- 应助: 20282 (院士)
- 金币: 145866
- 红花: 1374
- 帖子: 93085
- 在线: 7693.9小时
- 虫号: 1482829
- 注册: 2011-11-08
- 性别: GG
- 专业: 功能陶瓷
7楼2017-08-05 00:03:40
霸天一梦
新虫 (初入文坛)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 50
- 散金: 30
- 帖子: 22
- 在线: 2.7小时
- 虫号: 6600746
- 注册: 2017-05-24
- 专业: 凝聚态物性 II ：电子结构
|
还有，我的氩气流量20sccm和30sccm是在同一压强下1.0pa是不是压强计也出问题了?在28到30sccm时会从1.0到1.1pa.大神，是不是压强计出问题了？ 发自小木虫Android客户端 |
8楼2017-08-05 07:20:56
yanghuan5538
金虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 5703.6
- 红花: 2
- 帖子: 160
- 在线: 161.9小时
- 虫号: 593081
- 注册: 2008-09-05
- 性别: GG
- 专业: 有机化工
9楼2017-08-06 14:44:39
10楼2017-08-06 18:02:03