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彩華

新虫 (初入文坛)

[求助] 直流磁控溅射时,电流几乎为零,电压较大,求助怎么解决? 已有1人参与

我镀的是钼薄膜,在进行直流磁控溅射的过程中,在真空度为5Pa时起辉,但是调小气压时,电流表不断减小几乎为零,电压表不断增大,但是起辉正常,里面还有光亮,当我们加大气压至20Pa左右时,起辉出现闪光现象,并且电流跳动,求这是怎么回事,怎么解决?

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Friend007

银虫 (知名作家)


1.减小气流,电流减小,电压升高 正常现象。2.工作压力变大,电流表不稳定,应该是溅射靶头出现了短路。 另直流磁控溅射的正常工作压力应该在5pa 一下。

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3楼2017-08-07 10:24:21
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
个人认为,这个现象应该可以通过Paschen定律进行解释吧。不可以同步改变基板与靶材之间的间距吗?
2楼2017-08-03 21:10:40
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