| 查看: 1299 | 回复: 2 | ||
[求助]
直流磁控溅射时，电流几乎为零，电压较大，求助怎么解决？ 已有1人参与
|
|
我镀的是钼薄膜，在进行直流磁控溅射的过程中，在真空度为5Pa时起辉，但是调小气压时，电流表不断减小几乎为零，电压表不断增大，但是起辉正常，里面还有光亮，当我们加大气压至20Pa左右时，起辉出现闪光现象，并且电流跳动，求这是怎么回事，怎么解决？ 发自小木虫Android客户端 |
回复此楼» 猜你喜欢
上海工程技术大学张培磊教授团队招收博士生
已经有3人回复
-
上海工程技术大学【激光智能制造】课题组招收硕士
已经有5人回复
-
求助院士们，这个如何合成呀
已经有4人回复
-
临港实验室与上科大联培博士招生1名
已经有9人回复
-
想换工作。大多数高校都是 评职称时 认可5年内在原单位取得的成果吗？
已经有7人回复
-
需要合成515-64-0，50g，能接单的留言
已经有4人回复
-
自荐读博
已经有4人回复
-
写了一篇“相变储能技术在冷库中应用”的论文，论文内容以实验为主，投什么期刊合适？
已经有6人回复
-
带资进组求博导收留
已经有10人回复
-
最近几年招的学生写论文不引自己组发的文章
已经有11人回复
peterflyer 
木虫之王 (文学泰斗)
peterflyer
- 应助: 20282 (院士)
- 金币: 145860
- 红花: 1374
- 帖子: 93084
- 在线: 7693.9小时
- 虫号: 1482829
- 注册: 2011-11-08
- 性别: GG
- 专业: 功能陶瓷
2楼2017-08-03 21:10:40
|
1.减小气流，电流减小，电压升高 正常现象。2.工作压力变大，电流表不稳定，应该是溅射靶头出现了短路。 另直流磁控溅射的正常工作压力应该在5pa 一下。 发自小木虫Android客户端 |
3楼2017-08-07 10:24:21