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直流磁控溅射时，电流几乎为零，电压较大，求助怎么解决？ 已有1人参与
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我镀的是钼薄膜，在进行直流磁控溅射的过程中，在真空度为5Pa时起辉，但是调小气压时，电流表不断减小几乎为零，电压表不断增大，但是起辉正常，里面还有光亮，当我们加大气压至20Pa左右时，起辉出现闪光现象，并且电流跳动，求这是怎么回事，怎么解决？ 发自小木虫Android客户端 |
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peterflyer 
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peterflyer
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- 注册: 2011-11-08
- 性别: GG
- 专业: 功能陶瓷
2楼2017-08-03 21:10:40
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1.减小气流，电流减小，电压升高 正常现象。2.工作压力变大，电流表不稳定，应该是溅射靶头出现了短路。 另直流磁控溅射的正常工作压力应该在5pa 一下。 发自小木虫Android客户端 |
3楼2017-08-07 10:24:21
