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不同掺杂浓度GaN深度怎么测?
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边兆稳
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不同掺杂浓度GaN深度怎么测?
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最近做的片子衬底是蓝宝石,上面是n+GaN.再往上是n-GaN,预计两层厚度总共8微米,现在想测一下两层厚度分别为多少,用汞探针测cv发现量程不够,该用什么方法测啊,跪求大神指导。。
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5楼
:
Originally posted by
边兆稳
at 2017-07-26 17:43:28
这要怎么测啊
...
如果掺杂浓度变化很大 原子力显微镜 的特殊模式 扫描扩展电阻(SSRP) 还是可以试一试的
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6楼
2017-07-26 21:07:21
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估计只能用截面的方法 看衬度的变化
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2楼
2017-07-13 23:50:49
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【答案】应助回帖
片子提供商没有数据吗?那就只能刻一点儿测一下了。
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3楼
2017-07-18 17:39:29
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2楼
:
Originally posted by
DH0630AGE
at 2017-07-13 23:50:49
估计只能用截面的方法 看衬度的变化
能具体说一下吗,你说的是sem?
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4楼
2017-07-26 17:43:07
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