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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳器件 » 不同掺杂浓度GaN深度怎么测？
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边兆稳

新虫 (初入文坛)

[求助] 不同掺杂浓度GaN深度怎么测？ 已有1人参与

最近做的片子衬底是蓝宝石，上面是n+GaN.再往上是n-GaN,预计两层厚度总共8微米，现在想测一下两层厚度分别为多少，用汞探针测cv发现量程不够，该用什么方法测啊，跪求大神指导。。

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1楼 2017-07-13 23:17:08
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DH0630AGE

木虫 (著名写手)
估计只能用截面的方法  看衬度的变化

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All-For-One-For-All
2楼2017-07-13 23:50:49
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

片子提供商没有数据吗？那就只能刻一点儿测一下了。
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3楼2017-07-18 17:39:29
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边兆稳

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by DH0630AGE at 2017-07-13 23:50:49
估计只能用截面的方法  看衬度的变化

能具体说一下吗，你说的是sem?

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4楼2017-07-26 17:43:07
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边兆稳

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
3楼: Originally posted by yswyx at 2017-07-18 17:39:29
片子提供商没有数据吗？那就只能刻一点儿测一下了。

这要怎么测啊

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5楼2017-07-26 17:43:28
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DH0630AGE

木虫 (著名写手)
引用回帖:
5楼: Originally posted by 边兆稳 at 2017-07-26 17:43:28
这要怎么测啊
...

如果掺杂浓度变化很大  原子力显微镜 的特殊模式 扫描扩展电阻(SSRP)  还是可以试一试的

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All-For-One-For-All
6楼2017-07-26 21:07:21
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