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边兆稳

新虫 (初入文坛)

[求助] 不同掺杂浓度GaN深度怎么测? 已有1人参与

最近做的片子衬底是蓝宝石,上面是n+GaN.再往上是n-GaN,预计两层厚度总共8微米,现在想测一下两层厚度分别为多少,用汞探针测cv发现量程不够,该用什么方法测啊,跪求大神指导。。

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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

片子提供商没有数据吗?那就只能刻一点儿测一下了。
3楼2017-07-18 17:39:29
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DH0630AGE

木虫 (著名写手)

估计只能用截面的方法  看衬度的变化

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All-For-One-For-All
2楼2017-07-13 23:50:49
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边兆稳

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by DH0630AGE at 2017-07-13 23:50:49
估计只能用截面的方法  看衬度的变化

能具体说一下吗,你说的是sem?

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4楼2017-07-26 17:43:07
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边兆稳

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
3楼: Originally posted by yswyx at 2017-07-18 17:39:29
片子提供商没有数据吗?那就只能刻一点儿测一下了。

这要怎么测啊

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5楼2017-07-26 17:43:28
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