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求助！直流反应磁控溅射镀TiN气压总是不稳定怎么办 已有3人参与
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直流反应磁控溅射，Ti靶，圆柱形靶，基体是高速钢 工作气压总是不稳定，从0.15Pa能在极短的时间内上升到2.0Pa。刚开始只通入氩气的时候也会有如此大的波动，起初以为是Ar气体瓶子的减压表不好使，换过之后，情况并没有改善； 控制氮气流量的流量显示仪反应很慢，旋钮调了半天示数才有变化，靶的辉光颜色才会发生改变，但氩气流量显示仪正常。 在这种气压极不稳定的情况下，施镀一个小时是黄色，但时间长了会有紫红色的倾向 怎么样才能使工作气压稳定下来，减小波动的幅度也好啊 恳请各位大神帮忙！谢谢！  这是试样照片  这是真空室内照片，开了闪光灯，拍照技术不佳，谅解 |
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3楼2017-07-10 11:40:49
peterflyer 
木虫之王 (文学泰斗)
peterflyer
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2楼2017-07-09 23:14:31
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5楼2017-07-12 15:58:28
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