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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 金属 » 表面处理 » 求助！直流反应磁控溅射镀TiN气压总是不稳定怎么办
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土豆没我土

铁虫 (初入文坛)

[求助] 求助！直流反应磁控溅射镀TiN气压总是不稳定怎么办 已有3人参与

直流反应磁控溅射，Ti靶，圆柱形靶，基体是高速钢
工作气压总是不稳定，从0.15Pa能在极短的时间内上升到2.0Pa。刚开始只通入氩气的时候也会有如此大的波动，起初以为是Ar气体瓶子的减压表不好使，换过之后，情况并没有改善；
控制氮气流量的流量显示仪反应很慢，旋钮调了半天示数才有变化，靶的辉光颜色才会发生改变，但氩气流量显示仪正常。
在这种气压极不稳定的情况下，施镀一个小时是黄色，但时间长了会有紫红色的倾向
怎么样才能使工作气压稳定下来，减小波动的幅度也好啊
恳请各位大神帮忙！谢谢！

求助！直流反应磁控溅射镀TiN气压总是不稳定怎么办
这是试样照片


求助！直流反应磁控溅射镀TiN气压总是不稳定怎么办-1
这是真空室内照片，开了闪光灯，拍照技术不佳，谅解
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1楼 2017-07-09 21:11:07
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
是否是靶材致密度不够或材料中释放气体导致的问题呢？建议做两个检验：一是靶材的密度，二是靶材材料中的的含气量。
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2楼2017-07-09 23:14:31
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Friend007

银虫 (知名作家)
氧化的可能性大，建议认真检查从气瓶到镀膜腔室的管路，看看是否有漏气的地方。

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4楼2017-07-11 18:39:57
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土豆没我土

铁虫 (初入文坛)
引用回帖:
8楼: Originally posted by df1990 at 2017-07-13 14:19:11
应该是靶材的问题，我们以前做MoS溅射压强也会变化，更换靶材就好了，

感谢。我们现在暂时换不了靶，还有规定的任务没有完成，过一段时间会换别的靶，可能能验证这种说法，很感谢您的帮助
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9楼2017-07-15 11:24:16
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普通回帖

不要这样叫我

铁虫 (著名写手)
一般做出这种颜色里面是有氧吧，我们这边做也会出现这种彩色的，那种情况下连续做几炉或者多抽一会应该就好了，不知道你们是不是这种情况来着

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3楼2017-07-10 11:40:49
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土豆没我土

铁虫 (初入文坛)
引用回帖:
4楼: Originally posted by Friend007 at 2017-07-11 18:39:57
氧化的可能性大，建议认真检查从气瓶到镀膜腔室的管路，看看是否有漏气的地方。

谢谢，我们检测了镀出的试样，并没有氧元素，不怀疑它本身漏气
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5楼2017-07-12 15:58:28
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土豆没我土

铁虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by peterflyer at 2017-07-09 23:14:31
是否是靶材致密度不够或材料中释放气体导致的问题呢？建议做两个检验：一是靶材的密度，二是靶材材料中的的含气量。

非常感谢
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6楼2017-07-12 15:59:37
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土豆没我土

铁虫 (初入文坛)
引用回帖:
3楼: Originally posted by 不要这样叫我 at 2017-07-10 11:40:49
一般做出这种颜色里面是有氧吧，我们这边做也会出现这种彩色的，那种情况下连续做几炉或者多抽一会应该就好了，不知道你们是不是这种情况来着

感谢，试样做了检测并不含氧，下一炉就没有这种颜色了，变成了蓝色再加一点儿金色
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7楼2017-07-12 16:00:57
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df1990

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

应该是靶材的问题，我们以前做MoS溅射压强也会变化，更换靶材就好了，
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生命是一场无限的蜕变
8楼2017-07-13 14:19:11
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wydmhy

至尊木虫 (职业作家)

【答案】应助回帖

先把真空室内壁好好的认认真真的用无水乙醇擦拭干净。
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10楼2017-07-18 17:32:26
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