24小时热门版块排行榜    

查看: 1993  |  回复: 16

木木星木界

新虫 (初入文坛)

[求助] 薄膜电阻退火 已有2人参与

用磁控溅射机溅射的pt,为了使电阻性能更加稳定

采用一般的马弗炉退火,在退火温度保持两个小时。

但我退火后电阻值总是增大的……和理论上的降低不符………求助啊啊

发自小木虫IOS客户端
回复此楼
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

yanda

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
如果万用表确定没问题,考虑是否所镀膜层太薄,或者说是非连续性膜。较厚膜层受热后致密化,阻值会降低,但是非连续膜层情况不一样。您再试试
4楼2017-06-29 14:14:29
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

kangye_1989

木虫 (著名写手)

引用回帖:
7楼: Originally posted by 木木星木界 at 2017-06-29 16:54:09
恩,主要增大的不是几欧,阻值都翻倍了………退火前后都是用万用表测的,感觉影响不大,谢谢指教
...

电阻是什么量级的,薄膜的厚度有没有测量过
8楼2017-06-29 17:01:14
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
普通回帖

kangye_1989

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
你用什么设备测的电阻?
2楼2017-06-29 11:13:24
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

木木星木界

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by kangye_1989 at 2017-06-29 11:13:24
你用什么设备测的电阻?

一般的万用表,因为是图形化的PT

发自小木虫IOS客户端
3楼2017-06-29 13:49:21
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

木木星木界

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
4楼: Originally posted by yanda at 2017-06-29 14:14:29
如果万用表确定没问题,考虑是否所镀膜层太薄,或者说是非连续性膜。较厚膜层受热后致密化,阻值会降低,但是非连续膜层情况不一样。您再试试

谢谢,我也考虑是否太薄,下次改进一下,多谢指教

发自小木虫IOS客户端
5楼2017-06-29 16:47:00
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

kangye_1989

木虫 (著名写手)

引用回帖:
3楼: Originally posted by 木木星木界 at 2017-06-29 13:49:21
一般的万用表,因为是图形化的PT
...

建议你用电桥来测量,万用表的话毕竟是有接触电阻在里面的,电桥是可以避免的,
6楼2017-06-29 16:52:36
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

木木星木界

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
6楼: Originally posted by kangye_1989 at 2017-06-29 16:52:36
建议你用电桥来测量,万用表的话毕竟是有接触电阻在里面的,电桥是可以避免的,...

恩,主要增大的不是几欧,阻值都翻倍了………退火前后都是用万用表测的,感觉影响不大,谢谢指教

发自小木虫IOS客户端
7楼2017-06-29 16:54:09
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

木木星木界

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
8楼: Originally posted by kangye_1989 at 2017-06-29 17:01:14
电阻是什么量级的,薄膜的厚度有没有测量过...

电阻退火前100欧左右  膜厚约400nm吧

发自小木虫IOS客户端
9楼2017-06-30 01:03:27
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

dengdenger

新虫 (小有名气)

10楼2017-06-30 06:56:28
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 木木星木界 的主题更新
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 材料学求调剂 +6 Stella_Yao 2026-03-20 6/300 2026-03-25 00:37 by baoball
[考研] 281求调剂 +3 Koxui 2026-03-24 4/200 2026-03-24 22:59 by barlinike
[考研] 一志愿211 初试270分 求调剂 +5 谷雨上岸 2026-03-23 6/300 2026-03-24 16:32 by laoshidan
[考研] 321求调剂 +4 Ymlll 2026-03-24 4/200 2026-03-24 14:44 by sprinining
[考研] 305分求调剂(食品工程) +5 Sxy112 2026-03-21 7/350 2026-03-24 12:27 by 544594351
[考研] 0703化学求调剂 +4 奶油草莓. 2026-03-22 5/250 2026-03-23 19:37 by pswait
[考研] 求老师收我 +3 zzh16938784 2026-03-23 3/150 2026-03-23 12:56 by ztnimte
[考研] 求调剂材料学硕080500,总分289分 5+3 @taotao 2026-03-19 21/1050 2026-03-23 10:17 by 冠c哥
[考研] 323求调剂 +6 洼小桶 2026-03-18 6/300 2026-03-23 00:29 by king123!
[考研] 317求调剂 +12 申子申申 2026-03-19 18/900 2026-03-22 22:23 by luoyongfeng
[考研] 求调剂一志愿海大,0703化学学硕304分,有大创项目,四级已过 +6 幸运哩哩 2026-03-22 10/500 2026-03-22 20:10 by edmund7
[考研] 寻找调剂 +4 倔强芒? 2026-03-21 4/200 2026-03-22 16:14 by 木托莫露露
[考研] 0703化学调剂 +4 妮妮ninicgb 2026-03-21 4/200 2026-03-21 18:39 by 学员8dgXkO
[考研] 313求调剂 +4 肆叁贰壹22 2026-03-19 4/200 2026-03-21 17:33 by ColorlessPI
[考研] 材料与化工(0856)304求 B区 调剂 +3 邱gl 2026-03-21 3/150 2026-03-21 13:47 by lature00
[考研] 304求调剂 +7 司空. 2026-03-18 7/350 2026-03-20 23:08 by JourneyLucky
[考研] 一志愿苏州大学材料求调剂,总分315(英一) +5 sbdksD 2026-03-19 5/250 2026-03-20 22:10 by luoyongfeng
[考研] 一志愿南理工085701环境302求调剂院校 +3 葵梓卫队 2026-03-20 3/150 2026-03-20 19:28 by zhukairuo
[考研] 086500 325 求调剂 +3 领带小熊 2026-03-19 3/150 2026-03-20 18:38 by 尽舜尧1
[考研] 材料学硕318求调剂 +5 February_Feb 2026-03-19 5/250 2026-03-19 23:51 by 23Postgrad
信息提示
请填处理意见