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木木星木界

新虫 (初入文坛)

[求助] 薄膜电阻退火已有2人参与

用磁控溅射机溅射的pt,为了使电阻性能更加稳定

采用一般的马弗炉退火,在退火温度保持两个小时。

但我退火后电阻值总是增大的……和理论上的降低不符………求助啊啊

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yanda

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
如果万用表确定没问题,考虑是否所镀膜层太薄,或者说是非连续性膜。较厚膜层受热后致密化,阻值会降低,但是非连续膜层情况不一样。您再试试
4楼2017-06-29 14:14:29
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kangye_1989

木虫 (著名写手)

引用回帖:
7楼: Originally posted by 木木星木界 at 2017-06-29 16:54:09
恩,主要增大的不是几欧,阻值都翻倍了………退火前后都是用万用表测的,感觉影响不大,谢谢指教
...

电阻是什么量级的,薄膜的厚度有没有测量过
8楼2017-06-29 17:01:14
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kangye_1989

木虫 (著名写手)

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感谢参与,应助指数 +1
你用什么设备测的电阻?
2楼2017-06-29 11:13:24
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木木星木界

新虫 (初入文坛)

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2楼: Originally posted by kangye_1989 at 2017-06-29 11:13:24
你用什么设备测的电阻?

一般的万用表,因为是图形化的PT

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3楼2017-06-29 13:49:21
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木木星木界

新虫 (初入文坛)

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4楼: Originally posted by yanda at 2017-06-29 14:14:29
如果万用表确定没问题,考虑是否所镀膜层太薄,或者说是非连续性膜。较厚膜层受热后致密化,阻值会降低,但是非连续膜层情况不一样。您再试试

谢谢,我也考虑是否太薄,下次改进一下,多谢指教

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5楼2017-06-29 16:47:00
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kangye_1989

木虫 (著名写手)

引用回帖:
3楼: Originally posted by 木木星木界 at 2017-06-29 13:49:21
一般的万用表,因为是图形化的PT
...

建议你用电桥来测量,万用表的话毕竟是有接触电阻在里面的,电桥是可以避免的,
6楼2017-06-29 16:52:36
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木木星木界

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
6楼: Originally posted by kangye_1989 at 2017-06-29 16:52:36
建议你用电桥来测量,万用表的话毕竟是有接触电阻在里面的,电桥是可以避免的,...

恩,主要增大的不是几欧,阻值都翻倍了………退火前后都是用万用表测的,感觉影响不大,谢谢指教

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7楼2017-06-29 16:54:09
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木木星木界

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
8楼: Originally posted by kangye_1989 at 2017-06-29 17:01:14
电阻是什么量级的,薄膜的厚度有没有测量过...

电阻退火前100欧左右  膜厚约400nm吧

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9楼2017-06-30 01:03:27
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dengdenger

新虫 (小有名气)

10楼2017-06-30 06:56:28
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