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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 薄膜电阻退火
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kangye_1989

木虫 (著名写手)
引用回帖:
9楼: Originally posted by 木木星木界 at 2017-06-30 01:03:27
电阻退火前100欧左右  膜厚约400nm吧
...

有几个可能因素：1.薄膜有没有被氧化，退火前后的光泽度有没有变化；2.薄膜有没有熔化；3.基底是什么材料，基底会不会扩散到薄膜里面来，导致电阻率下降。
个人认为，金属薄膜最好在无氧环境退火比较好。
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11楼2017-06-30 08:37:43
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木木星木界

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
11楼: Originally posted by kangye_1989 at 2017-06-30 08:37:43
有几个可能因素：1.薄膜有没有被氧化，退火前后的光泽度有没有变化；2.薄膜有没有熔化；3.基底是什么材料，基底会不会扩散到薄膜里面来，导致电阻率下降。
个人认为，金属薄膜最好在无氧环境退火比较好。...

我昨天在氮气氛围下退火处理，发现电阻还是赠发的………我都懵了

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12楼2017-06-30 09:51:33
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木木星木界

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
10楼: Originally posted by dengdenger at 2017-06-30 06:56:28
做的导电薄膜吗？

薄膜电阻

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13楼2017-06-30 09:51:58
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倦书徐行

银虫 (小有名气)
楼主问题解决了吗？您铂薄膜退火的参数是如何确定的呢？
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14楼2017-07-25 15:35:55
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木木星木界

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
14楼: Originally posted by 倦书徐行 at 2017-07-25 15:35:55
楼主问题解决了吗？您铂薄膜退火的参数是如何确定的呢？

没解决呢，退火温度自己试着来呗

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15楼2017-07-31 16:44:45
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jackeywell

金虫 (初入文坛)
我也遇到了 翻了一倍 也在找原因  pt的粘附层是啥

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16楼2017-11-25 07:48:57
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jackeywell

金虫 (初入文坛)
引用回帖:
11楼: Originally posted by kangye_1989 at 2017-06-30 08:37:43
有几个可能因素：1.薄膜有没有被氧化，退火前后的光泽度有没有变化；2.薄膜有没有熔化；3.基底是什么材料，基底会不会扩散到薄膜里面来，导致电阻率下降。
个人认为，金属薄膜最好在无氧环境退火比较好。...

我的那个加热丝退货后金编色了 不知道是啥原因 在真空环境中退火 加热丝阻值增大一倍

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17楼2017-11-25 07:51:27
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