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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 薄膜电阻退火
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木木星木界

新虫 (初入文坛)

[求助] 薄膜电阻退火 已有2人参与

用磁控溅射机溅射的pt，为了使电阻性能更加稳定

采用一般的马弗炉退火，在退火温度保持两个小时。

但我退火后电阻值总是增大的……和理论上的降低不符………求助啊啊

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薄膜制备与特性

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1楼 2017-06-29 10:19:34
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回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

yanda

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
如果万用表确定没问题，考虑是否所镀膜层太薄，或者说是非连续性膜。较厚膜层受热后致密化，阻值会降低，但是非连续膜层情况不一样。您再试试
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4楼2017-06-29 14:14:29
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kangye_1989

木虫 (著名写手)
引用回帖:
7楼: Originally posted by 木木星木界 at 2017-06-29 16:54:09
恩，主要增大的不是几欧，阻值都翻倍了………退火前后都是用万用表测的，感觉影响不大，谢谢指教
...

电阻是什么量级的，薄膜的厚度有没有测量过
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8楼2017-06-29 17:01:14
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kangye_1989

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
你用什么设备测的电阻？
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2楼2017-06-29 11:13:24
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木木星木界

新虫 (初入文坛)
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2楼: Originally posted by kangye_1989 at 2017-06-29 11:13:24
你用什么设备测的电阻？

一般的万用表，因为是图形化的PT

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3楼2017-06-29 13:49:21
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木木星木界

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
4楼: Originally posted by yanda at 2017-06-29 14:14:29
如果万用表确定没问题，考虑是否所镀膜层太薄，或者说是非连续性膜。较厚膜层受热后致密化，阻值会降低，但是非连续膜层情况不一样。您再试试

谢谢，我也考虑是否太薄，下次改进一下，多谢指教

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5楼2017-06-29 16:47:00
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kangye_1989

木虫 (著名写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by 木木星木界 at 2017-06-29 13:49:21
一般的万用表，因为是图形化的PT
...

建议你用电桥来测量，万用表的话毕竟是有接触电阻在里面的，电桥是可以避免的，
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6楼2017-06-29 16:52:36
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木木星木界

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
6楼: Originally posted by kangye_1989 at 2017-06-29 16:52:36
建议你用电桥来测量，万用表的话毕竟是有接触电阻在里面的，电桥是可以避免的，...

恩，主要增大的不是几欧，阻值都翻倍了………退火前后都是用万用表测的，感觉影响不大，谢谢指教

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7楼2017-06-29 16:54:09
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木木星木界

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
8楼: Originally posted by kangye_1989 at 2017-06-29 17:01:14
电阻是什么量级的，薄膜的厚度有没有测量过...

电阻退火前100欧左右  膜厚约400nm吧

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9楼2017-06-30 01:03:27
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dengdenger

新虫 (小有名气)
做的导电薄膜吗？

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10楼2017-06-30 06:56:28
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