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薄膜电阻退火 已有2人参与
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用磁控溅射机溅射的pt，为了使电阻性能更加稳定 采用一般的马弗炉退火，在退火温度保持两个小时。 但我退火后电阻值总是增大的……和理论上的降低不符………求助啊啊 发自小木虫IOS客户端 |
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 薄膜制备与特性 |
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4楼2017-06-29 14:14:29
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dengdenger
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