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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 薄膜电阻退火
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木木星木界

新虫 (初入文坛)

[求助] 薄膜电阻退火 已有2人参与

用磁控溅射机溅射的pt，为了使电阻性能更加稳定

采用一般的马弗炉退火，在退火温度保持两个小时。

但我退火后电阻值总是增大的……和理论上的降低不符………求助啊啊

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薄膜制备与特性

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1楼 2017-06-29 10:19:34
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倦书徐行

银虫 (小有名气)
楼主问题解决了吗？您铂薄膜退火的参数是如何确定的呢？
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14楼2017-07-25 15:35:55
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