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木木星木界

新虫 (初入文坛)

[求助] 薄膜电阻退火 已有2人参与

用磁控溅射机溅射的pt,为了使电阻性能更加稳定

采用一般的马弗炉退火,在退火温度保持两个小时。

但我退火后电阻值总是增大的……和理论上的降低不符………求助啊啊

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倦书徐行

银虫 (小有名气)

楼主问题解决了吗?您铂薄膜退火的参数是如何确定的呢?
14楼2017-07-25 15:35:55
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