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LAnza_lw银虫 (小有名气)
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[求助]
PVD如何提高Cu/Cr膜层结合力 已有2人参与
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| 各位前辈，你们好。在最近的一次中频磁控溅射镀膜中，我遇到以下问题：膜层为基片/Cr/Cu/F/F，在镀Cr/Cu时，温度50-60℃，没有开偏压，测试的时候发现Cr/Cu之间的结合力很差，查资料知道是因为线热膨胀系数相差较大导致的，请问不改变低温成膜前提条件下，还有没有其他方法提高两者之间的结合力，谢谢。（PS：明天会测试下开偏压的影响） |
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 薄膜制备与特性 |
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peterflyer 
木虫之王 (文学泰斗)
peterflyer
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