| 查看: 1643 | 回复: 5 | |||
LAnza_lw银虫 (小有名气)
|
[求助]
PVD如何提高Cu/Cr膜层结合力 已有2人参与
|
| 各位前辈，你们好。在最近的一次中频磁控溅射镀膜中，我遇到以下问题：膜层为基片/Cr/Cu/F/F，在镀Cr/Cu时，温度50-60℃，没有开偏压，测试的时候发现Cr/Cu之间的结合力很差，查资料知道是因为线热膨胀系数相差较大导致的，请问不改变低温成膜前提条件下，还有没有其他方法提高两者之间的结合力，谢谢。（PS：明天会测试下开偏压的影响） |
回复此楼» 收录本帖的淘帖专辑推荐
 薄膜制备与特性 |
» 猜你喜欢
312求调剂
已经有7人回复
-
化学工程321分求调剂
已经有16人回复
-
280求调剂
已经有3人回复
-
266求调剂
已经有7人回复
-
工科材料085601 279求调剂
已经有5人回复
-
环境工程调剂
已经有8人回复
-
302求调剂
已经有9人回复
-
297求调剂
已经有4人回复
-
298-一志愿中国农业大学-求调剂
已经有4人回复
-
焦虑
已经有10人回复
m452193160
新虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 1698.3
- 散金: 140
- 红花: 1
- 帖子: 153
- 在线: 76.6小时
- 虫号: 2311553
- 注册: 2013-03-02
- 专业: 半导体材料
2楼2017-06-23 20:46:52
peterflyer 
木虫之王 (文学泰斗)
peterflyer
- 应助: 20282 (院士)
- 金币: 146147
- 红花: 1374
- 帖子: 93091
- 在线: 7694.3小时
- 虫号: 1482829
- 注册: 2011-11-08
- 性别: GG
- 专业: 功能陶瓷
3楼2017-06-23 20:48:14
LAnza_lw
银虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 294.1
- 散金: 100
- 帖子: 225
- 在线: 40.7小时
- 虫号: 4467576
- 注册: 2016-03-04
- 性别: GG
- 专业: 金属材料表面科学与工程
4楼2017-06-24 08:07:38
aaron5235
木虫 (正式写手)
- 应助: 18 (小学生)
- 金币: 3174.8
- 散金: 1465
- 红花: 16
- 帖子: 453
- 在线: 107.9小时
- 虫号: 1721181
- 注册: 2012-03-27
- 性别: GG
- 专业: 金属材料表面科学与工程
5楼2017-07-01 04:55:45
6楼2017-07-19 10:28:34
