| 查看: 4591 | 回复: 22 | ||
[求助]
磁控溅射硅薄膜镀不上 已有2人参与
|
||
小弟研一 刚开始着手磁控溅射设备，镀硅薄膜。失败率很高，总是镀不上。起初用100W，0.6pa参数溅射。铜箔基底表面有一层泛黄的膜，使用拉曼检测发现不是非晶硅。后来调整参数，用150W，0.6pa参数镀膜,改变了氩气流量，发现只有大于30sccm时才能镀上一层偏黑的膜，拉曼还未测过，性能不稳定。最近换了根氩气的通气管，出现以下问题：1，移动挡板挡住样品台进行预溅射时，硅靶中心出现貌似彩环的痕迹。2 ，移开挡板正式溅射时，中心彩环逐渐消失，整个靶颜色趋于一致。3，靶材部分边缘溅射时在整个辉光中显示出阴影，取下来后靶材边缘有咖啡色烧蚀痕迹 且出现裂缝。4，镀膜后，基底颜色基本没有改变，感觉没镀上或镀得很薄。镀膜时间都是1小时。图示为辉光颜色。感觉靶材周围的辉光是正常的硅的辉光，偏紫色。但是靶材之下的光有些泛红。最近反射功率也不是很稳，勉强能调至最低。 发自小木虫Android客户端 |
回复此楼» 猜你喜欢
咱们一起用铁证分析2026国家社科基金中标与否
已经有27人回复
-
为什么余额宝的年化利率越来越低？主要原因有哪些？
已经有3人回复
-
2027广东省杰青
已经有9人回复
-
朋友圈看到的
已经有5人回复
-
欢迎发来filecode的Mz6后的代码验证其规律
已经有110人回复
-
明天放榜？
已经有5人回复
-
时间戳变了，能看出什么问题？
已经有11人回复
-
重要消息，中午系统在维护
已经有10人回复
-
投稿咨询
已经有6人回复
-
时间戳又变了8-15
已经有26人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 请问有在磁控溅射机中用过聚酰亚胺薄膜胶带作为掩膜的吗？
已经有0人回复
- 膜技术应用推荐—《微小世界里的新天地--神奇的薄膜》(四色全彩)【转载】
已经有742人回复
- 谁用过铝硅靶啊
已经有3人回复
- 磁控溅射法在硅100晶面上镀B薄膜，纳米级，如何表征
已经有0人回复
强哥哥哥
新虫 (著名写手)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 5863.8
- 散金: 25
- 红花: 19
- 帖子: 2375
- 在线: 136.3小时
- 虫号: 4127252
- 注册: 2015-10-08
- 性别: GG
- 专业: 半导体科学与信息器件
8楼2017-06-14 12:32:54
Jason-wong
至尊木虫 (职业作家)
- 应助: 160 (高中生)
- 金币: 12892
- 散金: 4660
- 红花: 31
- 帖子: 4126
- 在线: 640.9小时
- 虫号: 1707318
- 注册: 2012-03-21
- 专业: 金属材料表面科学与工程
2楼2017-06-14 06:47:32
3楼2017-06-14 07:25:44
|
本帖内容被屏蔽 |
4楼2017-06-14 08:00:35
c504519869
铁虫 (正式写手)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 2595.2
- 散金: 5
- 红花: 1
- 帖子: 641
- 在线: 275.2小时
- 虫号: 3378099
- 注册: 2014-08-22
- 性别: GG
- 专业: 材料物理化学
5楼2017-06-14 11:39:26
c504519869
铁虫 (正式写手)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 2595.2
- 散金: 5
- 红花: 1
- 帖子: 641
- 在线: 275.2小时
- 虫号: 3378099
- 注册: 2014-08-22
- 性别: GG
- 专业: 材料物理化学
6楼2017-06-14 11:40:12
7楼2017-06-14 12:04:01
9楼2017-06-14 20:51:03
|
本帖内容被屏蔽 |
10楼2017-06-14 21:19:26
