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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 前沿热点 » 磁控溅射硅薄膜镀不上
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强哥哥哥

新虫 (著名写手)
引用回帖:
9楼: Originally posted by 霜雪泪 at 2017-06-14 20:51:03
今天重复了一下 发现还是有问题 镀不上 同时阳极罩内等有彩色光环


...

阳极罩到靶材距离3——5mm，还有你的反射功率是多大？

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11楼2017-06-14 21:49:35
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c504519869

铁虫 (正式写手)
彩色的这个是Si吧

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自己的路 却不知道尽头
12楼2017-06-15 00:41:20
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霜雪泪

新虫 (小有名气)
引用回帖:
11楼: Originally posted by 强哥哥哥 at 2017-06-14 21:49:35
阳极罩到靶材距离3——5mm，还有你的反射功率是多大？
...

我们说的是2—3mm，反射功率基本调至最低了。但是根据电流与电压的示数，总功率为200W，但是功率调整器显示的功率为150W（我的实验功率参数），是不是意味着反射功率为50W。

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13楼2017-06-15 06:13:46
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霜雪泪

新虫 (小有名气)
引用回帖:
12楼: Originally posted by c504519869 at 2017-06-15 00:41:20
彩色的这个是Si吧

没有测过，但我感觉是硅

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14楼2017-06-15 06:14:15
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霜雪泪

新虫 (小有名气)
引用回帖:
10楼: Originally posted by 091820053 at 2017-06-14 21:19:26
这个硅的颜色怎么象金属

溅射完后 硅靶表面呈现光亮的色泽，材料是没问题的

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15楼2017-06-15 10:34:30
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pvdmaterial

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

怎么会有彩色光环呢
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16楼2017-08-07 10:57:18
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Woxinyijiu

新虫 (初入文坛)
楼主后来解决问题了吗

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17楼2017-09-18 09:54:28
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13720187823

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

为什么要在铜箔上镀膜，采用的是直流电源还是射频电源？
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18楼2018-03-06 16:32:50
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13720187823

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

你的靶和基底的相对位置是怎样的，基底是对着靶的辉光放置的吗
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19楼2018-03-06 16:35:55
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DDJOKER

新虫 (著名写手)
直流溅射？射频溅射？

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20楼2018-03-07 14:42:49
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