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夸克duscbt

新虫 (初入文坛)

[求助] 求助:国内哪里可以做氮离子注入? 已有1人参与

求助:国内哪里可以做氮离子注入?
能量2.5~6keV 剂量10^9cm^-2左右。

谢谢各位大神
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flypig200346

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

清华大学摩擦学国家重点实验室
努力工作,天天向上,好好学习。
2楼2017-06-18 16:02:03
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王隽永

铁虫 (初入文坛)

请问,氮离子注入有什么特性吗?我半导体行业的,有没有一些相关资料,通过掺杂氮改善电性的资料?
3楼2017-12-13 11:51:24
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