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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 求助：国内哪里可以做氮离子注入？
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夸克duscbt

新虫 (初入文坛)

[求助] 求助：国内哪里可以做氮离子注入？ 已有1人参与

求助：国内哪里可以做氮离子注入？
能量2.5~6keV 剂量10^9cm^-2左右。

谢谢各位大神
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1楼 2017-06-10 17:27:26
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flypig200346

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

清华大学摩擦学国家重点实验室
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努力工作，天天向上，好好学习。
2楼2017-06-18 16:02:03
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王隽永

铁虫 (初入文坛)
请问，氮离子注入有什么特性吗？我半导体行业的，有没有一些相关资料，通过掺杂氮改善电性的资料？
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3楼2017-12-13 11:51:24
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