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随心所动

银虫 (小有名气)

[求助] PECVD制备氮化硅薄膜 已有1人参与

各位虫友好:
          刚开始学习PECVD法制备氮化硅薄膜,想请问一下制备时通入的气体除了反应气体SiH4和NH3,还有哪些?
          谢谢!
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随心奔跑,自由是方向
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随心所动

银虫 (小有名气)

引用回帖:
8楼: Originally posted by gt134032 at 2017-07-30 22:47:00
您好,请问您有没有测试扫描,我做的氮化硅表面总会有一些颗粒,清理了反应腔体和通气管道但是没有效果,测试颗粒成分为Si和N元素,是要考虑条件不够优化,还是其它污染问题?请问您有没有遇到过相同的问题?谢谢
...

你好,我还没遇到你上面说的问题。是不是因为SiH4和NH3通入量的比例不合适导致的?
随心奔跑,自由是方向
9楼2017-08-19 09:30:14
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huyingru

禁虫 (正式写手)

本帖内容被屏蔽

2楼2017-06-07 13:49:21
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随心所动

银虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by huyingru at 2017-06-07 13:49:21
除了这些还要H2和N2

谢谢你。你也做这方面的吗?
随心奔跑,自由是方向
3楼2017-06-11 21:05:16
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随心所动

银虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by huyingru at 2017-06-07 13:49:21
除了这些还要H2和N2

你做的氮化硅是用在哪些方面的?
随心奔跑,自由是方向
4楼2017-06-11 21:55:00
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