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PECVD制备氮化硅薄膜 已有1人参与
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各位虫友好： 刚开始学习PECVD法制备氮化硅薄膜，想请问一下制备时通入的气体除了反应气体SiH4和NH3，还有哪些？ 谢谢！ |
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