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PECVD制备氮化硅薄膜 已有1人参与
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各位虫友好: 刚开始学习PECVD法制备氮化硅薄膜,想请问一下制备时通入的气体除了反应气体SiH4和NH3,还有哪些? 谢谢! |
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4楼2017-06-11 21:55:00
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2楼2017-06-07 13:49:21

3楼2017-06-11 21:05:16
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5楼2017-06-12 15:18:58













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