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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 工艺技术 » 学习分享 » PECVD制备氮化硅薄膜
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随心所动

银虫 (小有名气)

[求助] PECVD制备氮化硅薄膜 已有1人参与

各位虫友好：
          刚开始学习PECVD法制备氮化硅薄膜，想请问一下制备时通入的气体除了反应气体SiH4和NH3，还有哪些？
          谢谢！
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随心奔跑，自由是方向
1楼 2017-06-04 09:03:51
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随心所动

银虫 (小有名气)
送红花一朵
引用回帖:
6楼: Originally posted by wtm_AE at 2017-07-05 13:14:20
光学参数测试怎么样，在范围内吗？

还没测光学参数，先调试，看看成膜质量怎么样。
赞一下 回复此楼
随心奔跑，自由是方向
7楼2017-07-06 22:48:15
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huyingru

禁虫 (正式写手)
本帖内容被屏蔽
2楼2017-06-07 13:49:21
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随心所动

银虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by huyingru at 2017-06-07 13:49:21
除了这些还要H2和N2

谢谢你。你也做这方面的吗？
赞一下 回复此楼
随心奔跑，自由是方向
3楼2017-06-11 21:05:16
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随心所动

银虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by huyingru at 2017-06-07 13:49:21
除了这些还要H2和N2

你做的氮化硅是用在哪些方面的？
赞一下 回复此楼
随心奔跑，自由是方向
4楼2017-06-11 21:55:00
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