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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术讨论 » 金属半导体接触问题
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WPTZJU

新虫 (小有名气)

[求助] 金属半导体接触问题

在宽禁带半导体上分别溅射Ag和Al，俩金属的功函数分别4.26和4.27，为何测出来的I-V曲线显示，Ag-半导体接触为欧姆接触，Al-半导体却是肖特基接触？难以思考出原因，求专业人士帮忙啊？

@dut_ameng 发自小木虫IOS客户端
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1楼 2017-05-31 13:45:27
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aliure

木虫 (正式写手)
铝表面会马上生成氧化铝，所以你的测的不是Al与半导体接触

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人物迷迷糊糊；性格阳光，不难相处；喜欢读书看树，偶尔出去溜溜，洗洗漱漱
2楼2017-05-31 18:26:37
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WPTZJU

新虫 (小有名气)
引用回帖:
8楼: Originally posted by guotao019 at 2017-06-01 00:03:11
还有，能不能把具体的I-V特性曲线贴出来

Al形成的类似肖特基特性的I-V图
金属半导体接触问题
Al contact.jpg
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12楼2017-06-01 11:01:35
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WPTZJU

新虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by aliure at 2017-05-31 18:26:37
铝表面会马上生成氧化铝，所以你的测的不是Al与半导体接触

我溅射的时候是真空条件啊。接触的地方是Al没错啊……

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3楼2017-05-31 18:45:27
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WPTZJU

新虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by aliure at 2017-05-31 18:26:37
铝表面会马上生成氧化铝，所以你的测的不是Al与半导体接触

就算氧化也是表面被氧化，接触的地点应该是Al没错的啊，我探针扎在Al上

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4楼2017-05-31 18:47:28
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aliure

木虫 (正式写手)
引用回帖:
4楼: Originally posted by WPTZJU at 2017-05-31 18:47:28
就算氧化也是表面被氧化，接触的地点应该是Al没错的啊，我探针扎在Al上
...

前半句正确，与半导体接触的地方是Al；但氧化的表面是指与空气接触的表面，如果没有保护，针尖所达之处皆为氧化铝。

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5楼2017-05-31 19:06:28
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fpcxufpcxu

铁虫 (小有名气)
有可能是Al氧化的问题

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6楼2017-05-31 23:43:34
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guotao019

新虫 (著名写手)
金属做了多厚？

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7楼2017-06-01 00:02:12
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guotao019

新虫 (著名写手)
还有，能不能把具体的I-V特性曲线贴出来

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8楼2017-06-01 00:03:11
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guotao019

新虫 (著名写手)
引用回帖:
5楼: Originally posted by aliure at 2017-05-31 19:06:28
前半句正确，与半导体接触的地方是Al；但氧化的表面是指与空气接触的表面，如果没有保护，针尖所达之处皆为氧化铝。
...

Al氧化后表面会生成一层非常薄的氧化膜，这个氧化膜会避免Al的进一步氧化。一般探针都是钨针，针扎的地方很轻易就能扎透氧化膜。

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9楼2017-06-01 00:14:24
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WPTZJU

新虫 (小有名气)
引用回帖:
7楼: Originally posted by guotao019 at 2017-06-01 00:02:12
金属做了多厚？

60nm的金属

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10楼2017-06-01 09:46:26
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