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石墨烯上镀金属图案溶脱不掉 已有1人参与
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求助: 1cm*1cm石英衬底的石墨烯上,用SU1813光刻胶做了pattern , 又E-beam了CrAu,基片没加热,用丙酮常温溶脱,几乎金属膜几乎不掉。用超声后,金属图案出来了,但是石墨烯已经脱落了。图案的的线宽都挺大,最小50um, 请问大家这个问题是怎么解决的? |
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aliure
木虫 (正式写手)
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2楼2017-05-24 20:58:16
yswyx
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