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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳器件 » 石墨烯上镀金属图案溶脱不掉
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liuqianxi

新虫 (小有名气)

[求助] 石墨烯上镀金属图案溶脱不掉 已有1人参与

求助：
1cm*1cm石英衬底的石墨烯上，用SU1813光刻胶做了pattern , 又E-beam了CrAu，基片没加热，用丙酮常温溶脱，几乎金属膜几乎不掉。用超声后，金属图案出来了，但是石墨烯已经脱落了。图案的的线宽都挺大，最小50um，
请问大家这个问题是怎么解决的？
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afterall,tomorrowisanewday.
1楼 2017-05-24 17:32:01
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aliure

木虫 (正式写手)
建议丙酮常温浸泡时间延长一些，再不掉，升温试试……敢超声，Gr必然掉～～

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人物迷迷糊糊；性格阳光，不难相处；喜欢读书看树，偶尔出去溜溜，洗洗漱漱
2楼2017-05-24 20:58:16
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
石墨烯怎么能超声呢，心真大
换负胶吧，用专门lift off的负胶，或者用5214反转胶，做lift off的时候玩命泡。胶可以找研材微纳买。如果丙酮搞不定，就用NMP。石墨烯太娇贵了，酸碱都有影响，只能溶剂，自求多福吧。
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3楼2017-05-25 17:38:19
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