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liuqianxi

新虫 (小有名气)

[求助] 石墨烯上镀金属图案溶脱不掉 已有1人参与

求助:
1cm*1cm石英衬底的石墨烯上,用SU1813光刻胶做了pattern , 又E-beam了CrAu,基片没加热,用丙酮常温溶脱,几乎金属膜几乎不掉。用超声后,金属图案出来了,但是石墨烯已经脱落了。图案的的线宽都挺大,最小50um,
请问大家这个问题是怎么解决的?
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afterall,tomorrowisanewday.
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aliure

木虫 (正式写手)

建议丙酮常温浸泡时间延长一些,再不掉,升温试试……敢超声,Gr必然掉~~

发自小木虫Android客户端
人物迷迷糊糊;性格阳光,不难相处;喜欢读书看树,偶尔出去溜溜,洗洗漱漱
2楼2017-05-24 20:58:16
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
石墨烯怎么能超声呢,心真大
换负胶吧,用专门lift off的负胶,或者用5214反转胶,做lift off的时候玩命泡。胶可以找研材微纳买。如果丙酮搞不定,就用NMP。石墨烯太娇贵了,酸碱都有影响,只能溶剂,自求多福吧。
3楼2017-05-25 17:38:19
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