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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 溅射情况
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晓桥歌

新虫 (初入文坛)

[求助] 溅射情况 已有2人参与

相同条件下，溅射为什么出来的薄膜不太一样，除了溅射仪上的参数，还有其他会影响溅射的因素吗？

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1楼 2017-05-19 10:34:52
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091820053

禁虫 (知名作家)
本帖内容被屏蔽

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晓桥歌
2楼2017-05-19 12:29:56
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Jason-wong

至尊木虫 (职业作家)
还有靶间距，靶基相对位置等

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3楼2017-05-19 14:14:54
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晓桥歌

新虫 (初入文坛)
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引用回帖:
2楼: Originally posted by 091820053 at 2017-05-19 12:29:56
溅射工艺包括气压，流量，距离，功率，另外就是靶材

流量是什么的流量呢？

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4楼2017-05-19 20:18:54
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happyxiong

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
晓桥歌: 金币+3, ★★★很有帮助 2017-05-25 11:45:42
如果你真是要做溅射，建议你把溅射相关的书籍好好先看看，溅射工艺参数很多，上面几位提到的之外，还包括溅射的时间等等。溅射设备种类也有很多种哦~~
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晓桥歌
5楼2017-05-20 10:53:41
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
晓桥歌: 金币+4, ★★★很有帮助 2017-05-25 11:45:23
除了仪器显示的参数以外，最大的因素就是靶材的质量，如纯度、晶粒尺寸与均匀性、密度、织构组织等。
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晓桥歌
6楼2017-05-20 12:35:33
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晓桥歌

新虫 (初入文坛)
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引用回帖:
5楼: Originally posted by happyxiong at 2017-05-20 10:53:41
如果你真是要做溅射，建议你把溅射相关的书籍好好先看看，溅射工艺参数很多，上面几位提到的之外，还包括溅射的时间等等。溅射设备种类也有很多种哦~~

能推荐一本吗？谢谢

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7楼2017-05-20 13:21:37
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晓桥歌

新虫 (初入文坛)
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引用回帖:
6楼: Originally posted by peterflyer at 2017-05-20 12:35:33
除了仪器显示的参数以外，最大的因素就是靶材的质量，如纯度、晶粒尺寸与均匀性、密度、织构组织等。

同一个粉末也会受这几个因素影响吗？

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8楼2017-05-20 13:22:40
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qin1992

新虫 (小有名气)
我有几本磁控溅射的书，可以邮件你

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9楼2017-05-20 14:51:30
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