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晓桥歌

新虫 (初入文坛)

[求助] 溅射情况 已有2人参与

相同条件下,溅射为什么出来的薄膜不太一样,除了溅射仪上的参数,还有其他会影响溅射的因素吗?

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Jason-wong

至尊木虫 (职业作家)

还有靶间距,靶基相对位置等

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3楼2017-05-19 14:14:54
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091820053

禁虫 (知名作家)

本帖内容被屏蔽

» 本帖已获得的红花(最新10朵)

2楼2017-05-19 12:29:56
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晓桥歌

新虫 (初入文坛)

送红花一朵
引用回帖:
2楼: Originally posted by 091820053 at 2017-05-19 12:29:56
溅射工艺包括气压,流量,距离,功率,另外就是靶材

流量是什么的流量呢?

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4楼2017-05-19 20:18:54
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happyxiong

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
晓桥歌: 金币+3, ★★★很有帮助 2017-05-25 11:45:42
如果你真是要做溅射,建议你把溅射相关的书籍好好先看看,溅射工艺参数很多,上面几位提到的之外,还包括溅射的时间等等。溅射设备种类也有很多种哦~~

» 本帖已获得的红花(最新10朵)

5楼2017-05-20 10:53:41
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