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晓桥歌

新虫 (初入文坛)

[求助] 溅射情况 已有2人参与

相同条件下,溅射为什么出来的薄膜不太一样,除了溅射仪上的参数,还有其他会影响溅射的因素吗?

发自小木虫IOS客户端
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer


【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★
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晓桥歌: 金币+4, ★★★很有帮助 2017-05-25 11:45:23
除了仪器显示的参数以外,最大的因素就是靶材的质量,如纯度、晶粒尺寸与均匀性、密度、织构组织等。

» 本帖已获得的红花(最新10朵)

6楼2017-05-20 12:35:33
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