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AZO薄膜电阻太大
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嵩阳圣贤
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专业: 半导体晶体与薄膜材料
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AZO薄膜电阻太大
已有1人参与
用溶胶凝胶法制备AZO薄膜,用四探针测出来总是兆欧每方块,始终搞不清问题所在,谁能给点建议?感激不尽
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1楼
2017-05-18 13:29:40
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bad忠
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专业: 半导体晶体与薄膜材料
我用测控溅射的氧化铜,用K2400测出来的薄膜电阻也是兆欧,老师说是仪器内阻有影响,但我一直搞不懂
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5楼
2017-05-26 20:37:40
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peterflyer
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peterflyer
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专业: 功能陶瓷
【答案】应助回帖
感谢参与,应助指数 +1
楼主的AZO粉没有经过高温烧结而只是物理混合吧?个人以为,这样的粉体里氧化铝和氧化锌之间没有起到相互搀杂的作用,导致薄膜的方块电阻很大。
[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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2楼
2017-05-20 12:47:49
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嵩阳圣贤
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专业: 半导体晶体与薄膜材料
引用回帖:
2楼
:
Originally posted by
peterflyer
at 2017-05-20 12:47:49
楼主的AZO粉没有经过高温烧结而只是物理混合吧?个人以为,这样的粉体里氧化铝和氧化锌之间没有起到相互搀杂的作用,导致薄膜的方块电阻很大。
我是用旋转镀膜法做成薄膜,然后退火,没有煅烧成粉体
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3楼
2017-05-25 16:18:30
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可以用磁控溅射来做呀
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4楼
2017-05-25 18:16:51
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