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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » AZO薄膜电阻太大
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嵩阳圣贤

新虫 (初入文坛)

[求助] AZO薄膜电阻太大 已有1人参与

用溶胶凝胶法制备AZO薄膜，用四探针测出来总是兆欧每方块，始终搞不清问题所在，谁能给点建议？感激不尽

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1楼 2017-05-18 13:29:40
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嵩阳圣贤

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by peterflyer at 2017-05-20 12:47:49
楼主的AZO粉没有经过高温烧结而只是物理混合吧？个人以为，这样的粉体里氧化铝和氧化锌之间没有起到相互搀杂的作用，导致薄膜的方块电阻很大。

我是用旋转镀膜法做成薄膜，然后退火，没有煅烧成粉体

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3楼2017-05-25 16:18:30
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
楼主的AZO粉没有经过高温烧结而只是物理混合吧？个人以为，这样的粉体里氧化铝和氧化锌之间没有起到相互搀杂的作用，导致薄膜的方块电阻很大。

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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2楼2017-05-20 12:47:49
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强哥哥哥

新虫 (著名写手)
可以用磁控溅射来做呀

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4楼2017-05-25 18:16:51
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bad忠

新虫 (初入文坛)
我用测控溅射的氧化铜，用K2400测出来的薄膜电阻也是兆欧，老师说是仪器内阻有影响，但我一直搞不懂
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5楼2017-05-26 20:37:40
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