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夸克duscbt

新虫 (初入文坛)

[交流] 光刻胶存放时间

光刻胶AZ1500 涂在石英单晶上 已经曝光显影定影。
目前蒸镀机器坏了不能及时蒸镀,求问曝好的光刻胶能存放多久呢?一两周可以么?
谢谢大神们!

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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夸克duscbt

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2017-05-16 16:50:57
按照你的实验状态,放一两周没事的。蒸镀之前打一下plasma清洁一下就好。

请问用plasma的目的是什么?处理石英表面的水分吗?
3楼2017-05-16 17:04:48
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
夸克duscbt: 金币+2 2017-05-16 17:06:12
按照你的实验状态,放一两周没事的。蒸镀之前打一下plasma清洁一下就好。
2楼2017-05-16 16:50:57
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yswyx

专家顾问 (著名写手)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
3楼: Originally posted by 夸克duscbt at 2017-05-16 17:04:48
请问用plasma的目的是什么?处理石英表面的水分吗?...

不是水分,是沾污,尤其是有机沾污去掉。还可以打掉光刻胶残留。
我一般看不到这种回帖的提醒,所以有问题最好私信。
4楼2017-05-23 15:24:49
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