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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 光刻胶存放时间
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夸克duscbt

新虫 (初入文坛)

[交流] 光刻胶存放时间

光刻胶AZ1500 涂在石英单晶上 已经曝光显影定影。
目前蒸镀机器坏了不能及时蒸镀，求问曝好的光刻胶能存放多久呢？一两周可以么？
谢谢大神们！

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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1楼 2017-05-16 12:10:59
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
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夸克duscbt: 金币+2 2017-05-16 17:06:12
按照你的实验状态，放一两周没事的。蒸镀之前打一下plasma清洁一下就好。
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2楼2017-05-16 16:50:57
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yswyx

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引用回帖:
3楼: Originally posted by 夸克duscbt at 2017-05-16 17:04:48
请问用plasma的目的是什么？处理石英表面的水分吗？...

不是水分，是沾污，尤其是有机沾污去掉。还可以打掉光刻胶残留。
我一般看不到这种回帖的提醒，所以有问题最好私信。
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4楼2017-05-23 15:24:49
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