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夸克duscbt

新虫 (初入文坛)

[交流] 光刻胶存放时间

光刻胶AZ1500 涂在石英单晶上 已经曝光显影定影。
目前蒸镀机器坏了不能及时蒸镀,求问曝好的光刻胶能存放多久呢?一两周可以么?
谢谢大神们!

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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夸克duscbt

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2017-05-16 16:50:57
按照你的实验状态,放一两周没事的。蒸镀之前打一下plasma清洁一下就好。

请问用plasma的目的是什么?处理石英表面的水分吗?
3楼2017-05-16 17:04:48
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