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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 光刻胶存放时间
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夸克duscbt

新虫 (初入文坛)

[交流] 光刻胶存放时间

光刻胶AZ1500 涂在石英单晶上 已经曝光显影定影。
目前蒸镀机器坏了不能及时蒸镀，求问曝好的光刻胶能存放多久呢？一两周可以么？
谢谢大神们！

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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1楼 2017-05-16 12:10:59
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夸克duscbt

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2017-05-16 16:50:57
按照你的实验状态，放一两周没事的。蒸镀之前打一下plasma清洁一下就好。

请问用plasma的目的是什么？处理石英表面的水分吗？
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3楼2017-05-16 17:04:48
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