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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 机械 » 机械设计 » 有谁知道微型锥形孔阵列怎么加工么
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Moonliu

新虫 (初入文坛)

[求助] 有谁知道微型锥形孔阵列怎么加工么 已有2人参与

大概是1mm高，底部宽度为0.8mm，顶部宽度为0.5mm左右（锥度后续可调），间距为0.25mm，我大概是想通过掩膜电化学加工加工这种锥形孔阵列结构，不知道这样深径比大于0.5的孔是否可以用直流电源加工出来？

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1楼 2017-05-12 11:04:58
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Moonliu

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
5楼: Originally posted by 湖湘蕭四 at 2017-05-23 10:56:58
什么材料上？量大吗？孔径的光洁度和精度要求高吗？

我曾经看到过那个，但我这个是阵列加工，用电火花的话肯定非常麻烦，我想用掩膜微电解加工，主要控制的参数是锥孔的角度，高度，和深径比，你觉得行么？或者哪里有做这个的么？

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7楼2017-05-23 16:45:51
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光刻电子

禁虫 (正式写手)
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2楼2017-05-16 22:08:46
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Moonliu

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 光刻电子 at 2017-05-16 22:08:46
花点钱做块掩模版就可以了。

能稍微具体一下吗？我看过论文有通过掩膜版加工喇叭孔的？不知道你能不能详细解释一下

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3楼2017-05-23 10:11:09
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alfaromeo75

新虫 (小有名气)
我只知道喷油器的锥形喷孔是用电火花放电法加工的。那家伙的深径比保证大于0.5。就是不知道是否适用于你的这个情况。

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4楼2017-05-23 10:49:05
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